Aplicação de componentes de quartzo de precisão em semicondutores

Na indústria de semicondutores, o quartzo é amplamente utilizado. E produtos de quartzo de alta pureza são consumíveis importantes na produção de wafer. A principal aplicação dos componentes de quartzo no campo semicondutor é o processo de difusão e gravação na fundição de wafer, que pode ser dividida em dispositivos de zona de alta temperatura e dispositivos de zona de baixa temperatura. Os principais dispositivos que serão usados são os seguintes:

Os dispositivos na zona de alta temperatura são principalmente tubos de forno, barcos de vidro, etc., usados na oxidação por difusão e outros processos. Eles precisam ser contato direto ou indireto com wafers de silício em um ambiente de alta temperatura. Depois de comprar materiais de vidro de sílica fundida, esses dispositivos serão produzidos por meio de processamento térmico.

Ao controlar a tensão residual interna do tubo de sílica fundida na figura abaixo, recomenda-se usar um manual quantitativoPolariscópio de vidro(Modelo SEM PSV-413). Você pode ver intuitivamente e claramente onde o estresse está concentrado e medir o valor de retardo óptico causado pela existência de estresse. Na Figura 1, a tensão é concentrada na posição azul. Quando mudamos para o método de medição quantitativa (método senarmont), a área azul na Figura 1 gira a área branca na Figura 2. Quando viramos lentamente a escala no analisador superior, a cor da área branca na Figura 2 escurecerá gradualmente até se transformar na área marrom escura na Figura 3.

Figura 1

Figura 2

Figura 3

Os dispositivos na zona de baixa temperatura são principalmente anéis de quartzo no processo de gravação e cestos de flores e tanques de limpeza durante o processo de limpeza. Depois de comprar vidro de quartzo refinado a gás, esses dispositivos são produzidos através de processamento a frio. O tanque de limpeza de quartzo na imagem abaixo é feito por disparo manual. Ao controlar sua tensão residual interna, é recomendável usar um Polariscope portátil ampliado (modelo NO PSV-202-DL).